Existem três tipos de estruturas cristalinas no nitreto de silício (Si3N4), que são três fases de α, β e γ. As duas fases α e β são as formas mais comuns de Si3N4 e podem ser preparadas sob pressão normal. A fase γ só pode ser sintetizada sob alta pressão e alta temperatura, e sua dureza pode atingir 35GPa.
O β-Si3N4 hexagonal pode ser combinado diretamente com silício e nitrogênio elementares para obter nitreto de silício em 1300-1400 ℃:
3 Si (s) {{16}} 2 N2 (g) → Si3N4 (s) também podem ser sintetizados com diimida SiCl4 (l) + 6 NH3 (g) → Si (NH) 2 (s) + 4 NH4Cl (s) ) a 0 ℃ Nas condições de 3 Si (NH) 2 (s) → Si3N4 (s) + N2 (g) + 3 H2 (g) sob 1000 ℃ ou por reação de redução carbotérmica sob 1400-1450 ℃ nitrogênio: 3 SiO2 (s) + 6 C (s) + 2 N2 (g) → Si3N4 (s) + 6 CO (g)
